自动变焦三维表面测量仪IFM G4是奥地利Alicona 公司研发生产的集形貌测量和粗糙度测量为一体的高精度光学测量仪,其工作原理采用的是目前世界领先的自动变焦(Focus-Variation)技术。

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　　水平取样距离：90nm最大扫描高度：22mm最大扫描面积：10000mm2

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